Semi-conducteurs et Industrie LED

Historiquement les débitmètres/régulateurs de débit massique thermique ont été développés dans les années 70 pour les dépôts de vapeur de gaz dans les procédés de fabrication des semi-conducteurs. Le marché des semi-conducteurs est toujours un vaste marché pour les fournisseurs de débitmètres/régulateurs de débit massique tel que Bronkhorst®. A l’écoute du marché en introduisant des nouveauté pour le gaz, liquide, et la vapeur, Bronkhorst est devenu un acteur majeur de l’industrie des semi-conducteur. Avec les instruments à joints métal et à temps de réponse rapide, l'innovation des systèmes d'injection directe de liquide et les interfaces bus de terrain (Profibus, DeviceNet, Modbus, etc.) Bronkhorst® a gagné son excellente réputation sur ce marché technologique très exigent.

 wafer deposition
GAZ LIQUIDE
PRESSION VAPEUR

 Application Notes & Market Brochures

 

Application Note on Supercritical Gas
(Wafer cleaning using supercritical CO2)
Brochure Semiconductor market
(Ultra) low flow Coriolis competence

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