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Semi-conducteurs et Industrie LED

Historiquement les débitmètres/régulateurs de débit massique thermique ont été développés dans les années 70 pour les dépôts de vapeur de gaz dans les procédés de fabrication des semi-conducteurs. Le marché des semi-conducteurs est toujours un vaste marché pour les fournisseurs de débitmètres/régulateurs de débit massique tel que Bronkhorst. A l’écoute du marché en introduisant des nouveauté pour le gaz, liquide, et la vapeur, Bronkhorst est devenu un acteur majeur de l’industrie des semi-conducteur. Avec les instruments à joints métal et à temps de réponse rapide, l'innovation des systèmes d'injection directe de liquide et les interfaces bus de terrain (PROFIBUS, DeviceNet, Modbus, etc.) Bronkhorst a gagné son excellente réputation sur ce marché technologique très exigent.

 wafer deposition
GAZ LIQUIDE
PRESSION VAPEUR

 Notes d'application et Brochures de marché

 

Application Note on Supercritical Gas
(Wafer cleaning using supercritical CO2)
Brochure Semiconductor market
(Ultra) low flow Coriolis competence