Chris King
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Dans de nombreux procédés de production et de recherche, la variable importante est la masse et non le volume. Les mesures du débit volumique ne sont pas aussi fiables que les mesures du débit massique en raison des effets de changement de température ou de pression sur la densité d'un volume fixe de gaz.

Contrairement aux dispositifs de mesure du débit volumique tels que les débitmètres à section variable ou les débitmètres à turbine, les débitmètres massiques (MFM) et les régulateurs de débit massique (MFC) thermiques sont relativement peu sensibles aux fluctuations de la température et de la pression du débit entrant. Un MFM/MFC est capable de fournir une mesure directe du débit massique, contrairement à la plupart des autres méthodes qui mesurent le débit volumique et nécessitent des mesures distinctes de la température et de la pression afin de calculer la densité et, finalement, le débit massique.

Un MFM/MFC mesure et contrôle en réalité le débit au niveau moléculaire et assure ainsi un débit de gaz extrêmement précis, reproductible et fiable. Initialement développés pour l'industrie des semi-conducteurs, les MFC/MFM sont désormais largement utilisés dans le cadre d'applications de laboratoires de recherche, d'usines pilotes et de procédés continus.

Capteur débitmètre massique

Les attributs des débitmètres massiques et des régulateurs de débit massique thermiques :

  • la répétabilité et la précision à bas débit
  • une faible sensiblité aux fluctuations de la température et de la pression du débit
  • une boucle de contrôle du PID complète dans un ensemble compact.

Ces avantages ont contribué à améliorer la productivité et à réduire les coûts pour divers procédés analytiques et industriels et applications OEM.

Vidéo du principe de fonctionnement d'un débitmètre massique thermique