Série EL-FLOW^® Metal Sealed
Débitmètre massique et régulateur de débit massique gaz

Généralités

Les débitmètres et régulateurs de débit massique Metal Sealed Bronkhorst High-Tech se caractérisent par leur construction métal/métal unique et brevetée, offrant une excellente étanchéité même après plusieurs démontages. De plus ils se distinguent par leur grande qualité d’état de surface et conviennent particulièrement dans l’industrie des semi-conducteurs et pour les applications gaz de grande pureté. L’embase des transmetteurs et régulateurs de pression est équipée de raccords 1/4" VCR male ou de connexion à montage en surface.

   Gamme la plus faible 0,1...5 ml_n/min
   Gamme la plus élevée  0,6... 100 l_n/min

Les instruments sont équipés d’une carte électronique numérique permettant d’obtenir des mesures de grande précision, une excellente stabilité de la température et un temps de réponse rapide (stabilisation T₉₈ jusqu'a 500 msec). La dernière version des instruments EL-FLOW^® dispose de la fonction multi-gaz/ multi-gammes, offrant ainsi aux clients (OEM) une grande souplesse d’utilisation et une efficacité de leur procédé. Bronkhorst fournit un logiciel outil  pour cet usage.

Caractéristiques

• Construction des joints Métal/Métal permettant les démontages multiples
• Pièces en contact avec le fluide électropolies
• Assemblage en salle blanche
• Fonction multi-gaz/ multi-gammes en option
• Entrée/Sortie analogique et numérique, avec en option une interface intégrée DeviceNet^TM, Profibus-DP^®, Modbus, EtherCAT ou FLOW-BUS
• Très grande stabilité du zéro ( l'auto zéro n'est pas nécessaire)
• Très grande précision et répétabilité

Gammes de débit (basé sur l’air)

Brochure

Pour plus d’informations, consultez la brochure "METAL SEALED Digital Mass Flow / Pressure Meters and Controllers".